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產(chǎn)品詳情

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產(chǎn)品名稱：CM505用于半導(dǎo)體工廠的CM505無塵室氣體監(jiān)視器
產(chǎn)品型號(hào)：CM505
產(chǎn)品廠商：其它品牌
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簡(jiǎn)單介紹：

CM505用于半導(dǎo)體工廠的CM505無塵室氣體監(jiān)視器隨著LSI集成度的提高，以及大型FPD生產(chǎn)的推動(dòng)，**無塵室中氨氣和酸性氣體等氣體污染物，顯得日益重要。為滿足此要求，監(jiān)視氣態(tài)污染物，并定期檢查化學(xué)過濾器的化學(xué)性能十分重要。為達(dá)到此目的，通常采用的測(cè)試方法是塵埃器測(cè)定法。然而，傳統(tǒng)的塵埃器測(cè)定法不適合長(zhǎng)期測(cè)量，且會(huì)由于操作員引起交叉污

詳情介紹：

CM505用于半導(dǎo)體工廠的CM505無塵室氣體監(jiān)視器
隨著LSI集成度的提高，以及大型FPD生產(chǎn)的推動(dòng)，**無塵室中氨氣和酸性氣體等氣體污染物，顯得日益重要。為滿足此要求，監(jiān)視氣態(tài)污染物，并定期檢查化學(xué)過濾器的化學(xué)性能十分重要。為達(dá)到此目的，通常采用的測(cè)試方法是塵埃器測(cè)定法。然而，傳統(tǒng)的塵埃器測(cè)定法不適合長(zhǎng)期測(cè)量，且會(huì)由于操作員引起交叉污

CM505無塵室氣體監(jiān)視器通過塵埃器測(cè)定法實(shí)現(xiàn)無污染在線氣體監(jiān)視，測(cè)量時(shí)間為1個(gè)小時(shí)。還可選用多光束型(16點(diǎn))。該系統(tǒng)可根據(jù)要求監(jiān)視氨氣(或陽離子)和酸性氣體(陰離子)。

特性

通過塵埃器進(jìn)**體采樣，同時(shí)采集氣體和顆粒/霧狀污染物。
氨氣測(cè)量靈敏度達(dá)到0.01µg/m³。
酸性氣體(HCl，SO2，NO2)測(cè)量靈敏度同樣可達(dá)到0.02µg/m³。
系統(tǒng)可根據(jù)要求監(jiān)視硼酸，F(xiàn)^-和有機(jī)酸(CH3COO^-，HCOO^-)。
全自動(dòng)系統(tǒng)及無人測(cè)量。
采用高可靠的分析方法，即離子色譜法。
可選化學(xué)過濾器生命周期預(yù)測(cè)軟件和多光束切換型(*多16點(diǎn))。

規(guī)格

測(cè)量

氨氣: NH3

陽離子: Na⁺，NH3，K⁺，Ca²⁺，Mg²⁺

陰離子: Cl^-，Br^-，NO2^-，NO3^-，SO3^2-，SO4^2-，PO4^3-

氟化物/有機(jī)酸: F^-，HCOO^-，CH3COO^-，Cl^-

硼: B

氣體采樣方法

塵埃器測(cè)定法

分析方法

離子色譜法

測(cè)量量程

NH3，陽離子，陰離子: 0～50µg/m³

氟化物/有機(jī)酸: F^-，Cl^-: 0～5μg/m³，HCOO^-，CH3COO^-: 0～30μg/m³

B: 0～100ng/m³

*小檢測(cè)限制

NH3，陽離子: 0.01μg/m³，酸性氣體: 0.02μg/m³，
PO4M^3-: 0.05μg/m³，F(xiàn)^-，Cl^-: 0.01μg/m³，HCOO^-: 0.05μg/m³，
CH3COO^-: 0.01μg /m³，B: 10ng/m³

測(cè)量周期

*短60分鐘或90分鐘

測(cè)量點(diǎn)

一點(diǎn)或*多16點(diǎn)(選配件)

標(biāo)定

使用標(biāo)準(zhǔn)溶液標(biāo)定，自動(dòng)標(biāo)定

外部接點(diǎn)輸入

測(cè)量流路切換信號(hào)，外部報(bào)警信號(hào)，外部報(bào)警復(fù)位信號(hào)

外部接點(diǎn)輸出

異常濃度信號(hào)(用于每種流體，繼電器接點(diǎn))，
系統(tǒng)報(bào)警信號(hào)(繼電器接點(diǎn))，測(cè)流信號(hào)(二進(jìn)制，繼電器接點(diǎn))，重測(cè)信號(hào)(繼電器接點(diǎn))，液體泄漏信號(hào)(繼電器接點(diǎn))，報(bào)警蜂鳴信號(hào)，報(bào)警發(fā)光信號(hào)

電源

100～120V AC，50/60Hz

重量

根據(jù)規(guī)格不同，約為150～180kg

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產(chǎn)品名稱：CM505用于半導(dǎo)體工廠的CM505無塵室氣體監(jiān)視器

特性

規(guī)格