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產(chǎn)品名稱：Dycor DyMaxion 封閉式離子源分析儀
產(chǎn)品型號(hào)：Dycor DyMaxion 封閉式離子源分析儀
產(chǎn)品廠商：其它品牌
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簡(jiǎn)單介紹：

Dycor DyMaxion 封閉式離子源分析儀封閉式離子源儀器被設(shè)計(jì)為用于CVD過程（反應(yīng)性氣體存在其他的的過程）和接近或高于大氣壓力的氣體分析。這種離子源的設(shè)計(jì)的主要益處在于當(dāng)反應(yīng)性氣體在相對(duì)高的壓力下引入離子室時(shí)，它可以減少在離子源區(qū)域發(fā)生的分子離子反應(yīng)。

詳情介紹：

Dycor DyMaxion 封閉式離子源分析儀
封閉式離子源儀器被設(shè)計(jì)為用于CVD過程（反應(yīng)性氣體存在其他的的過程）和接近或高于大氣壓力的氣體分析。這種離子源的設(shè)計(jì)的主要益處在于當(dāng)反應(yīng)性氣體在相對(duì)高的壓力下引入離子室時(shí)，它可以減少在離子源區(qū)域發(fā)生的分子離子反應(yīng)。
DymaxionCVD

概述

這是通過在樣品氣體進(jìn)入離子室之前首先減少它的壓力而實(shí)現(xiàn)的。正如流導(dǎo)限制型離子源（詳見上文介紹），樣品氣體被限制在一個(gè)相對(duì)較小的離子室中，燈絲在離子室的外面。差別在于封閉離子源的氣體在進(jìn)入到離子室之前壓力首先從CVD（或其他高壓方面的應(yīng)用）的高壓被降低到大約10-5 Torr 。因?yàn)樵谶@一較低壓力下氣體密度就會(huì)較小，這樣一來當(dāng)取反應(yīng)性氣體樣品時(shí)就能大大減少分子離子反應(yīng)了。這樣就保持了樣品氣體的*原始的特性和排除了引入新的不屬于樣品氣體的氣體種類的可能性。
封閉離子源RGA 具備了增強(qiáng)的靈敏度，降低的體系壓力背景噪聲，PPB水平的檢測(cè)能力。

封閉離子源的另外的特點(diǎn)包括：
傳感器室中背景氣體對(duì)分析信號(hào)的*小程度的污染
離子體積外的燈絲排除本底信號(hào)
抽取式的離子體積方便清洗
兩根涂釷的銥燈絲
可簡(jiǎn)便替換的燈絲
從傳感器真空室的進(jìn)口到離子體積連接簡(jiǎn)單

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