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產(chǎn)品詳情
  • 產(chǎn)品名稱:ta7000R型氣體純度監(jiān)測(cè)儀

  • 產(chǎn)品型號(hào):ta7000R型氣體純度監(jiān)測(cè)儀
  • 產(chǎn)品廠商:其它品牌
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簡(jiǎn)單介紹:
ta7000R型氣體純度監(jiān)測(cè)儀 這是一款配備了TRACE還原氣體檢測(cè)器(RGD)的超高純度氣相色譜。該ta7000R型分析儀可用于監(jiān)測(cè)H2和CO。
詳情介紹:
ta7000R型氣體純度監(jiān)測(cè)儀
這是一款配備了TRACE還原氣體檢測(cè)器(RGD)的超高純度氣相色譜。該ta7000R型分析儀可用于監(jiān)測(cè)H2和CO。

概述

需求
當(dāng)今的高純制造加工過程,尤其是在半導(dǎo)體工業(yè)中,需要極高純度的過程氣體以保證產(chǎn)品質(zhì)量和產(chǎn)量。因此,這些過程由于流動(dòng)組分放氣和意外純化器超負(fù)荷變得更復(fù)雜和易受攻擊。在污染物蔓延至整個(gè)氣體管道網(wǎng)絡(luò)或設(shè)備之前檢測(cè)到是至關(guān)重要的。

解決方案
ta7000系列氣相色譜專為現(xiàn)今極高純度應(yīng)用所設(shè)計(jì)。ta7000型分析儀操作平臺(tái)包括一個(gè)專用的樣品處理系統(tǒng),一個(gè)高靈敏度檢測(cè)器和數(shù)據(jù)分析電子裝置。ta7000R型分析儀配置了還原氣體檢測(cè)器(RGD)。
ta7000R型分析儀使用RGD傳感器,可檢測(cè)H2和CO。該高靈敏度的檢測(cè)器的檢測(cè)限可低于500ppt??捎糜诘?dú)狻⒀鯕?、氦氣、氬氣樣品流的監(jiān)測(cè)。
 

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