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產(chǎn)品詳情

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產(chǎn)品名稱：CM501用于半導(dǎo)體工廠的CM501無塵室氣體監(jiān)視器
產(chǎn)品型號：CM501
產(chǎn)品廠商：其它品牌
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簡單介紹：

詳情介紹：

CM501用于半導(dǎo)體工廠的CM501無塵室氣體監(jiān)視器
隨著LSI集成度的提高，以及大型FPD生產(chǎn)的推動，**無塵室中氨氣和酸性氣體等氣體污染物顯得日益重要。為滿足此要求，監(jiān)視氣態(tài)污染物，并定期檢查化學(xué)過濾器的化學(xué)性能十分重要。
CM501無塵室氣體監(jiān)視器通過使用高靈敏度的擴(kuò)散吸取式采樣器和離子色譜儀，連續(xù)測量氨氣和酸性氣體。擴(kuò)散吸取式采樣器吸收純水中的氨氣/酸性氣體，然后通過離子色譜儀進(jìn)行分析。CM501無塵室氣體監(jiān)視器實現(xiàn)了無污染在線氣體監(jiān)視。還可選用多光束型(16點)。

CM501無塵室氣體監(jiān)視器

CM501產(chǎn)品宣傳樣本(英文)

CM501技術(shù)規(guī)格(英文)

特性

氨氣測量靈敏度達(dá)到0.01µg/m³。
酸性氣體(氯化氫，磷酸，二氧化硫等)測量靈敏度同樣可達(dá)到0.02µg/m³。
采用的離子色譜法是高可靠的分析方法。
采用獨(dú)特的擴(kuò)散吸取式采樣器，樣氣的污染降至*低。
洗滌液消耗*小，且僅需每個月更換一次洗滌液。
在工作站的曲線圖中進(jìn)行監(jiān)視。
標(biāo)配過濾器生命周期預(yù)測軟件。
*多可測量16點的樣氣(選配件)。

規(guī)格

測量

氨氣或酸性氣體(陰離子分析: 氯化氫，二氧化硫等)

氣體采樣方法

擴(kuò)散吸取式采樣器系統(tǒng)

分析方法

離子色譜法

測量量程

0～50µg/m³

*小檢測限制

0.01µg/m³(氨氣)，0.02mg/m³(酸性氣體)

測量周期

*小周期35分鐘

測量點

一點或*多16點(選配件)

標(biāo)定

使用標(biāo)準(zhǔn)溶液標(biāo)定，自動標(biāo)定

外部接點輸入

測量流路切換信號，外部報警信號，外部報警復(fù)位信號

外部接點輸出

異常濃度信號，系統(tǒng)報警信號，測流信號，重測信號，液體泄漏信號，報警蜂鳴信號，報警發(fā)光信號

電源

100～120V AC，50/60Hz或200～240V AC，50/60Hz

重量

約170kg(不包括化學(xué)溶液，工作站和純水系統(tǒng)。)

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產(chǎn)品名稱：CM501用于半導(dǎo)體工廠的CM501無塵室氣體監(jiān)視器

特性

規(guī)格